特許
J-GLOBAL ID：200903035225768157
変位検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 実三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-314949
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160016
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 半導体レーザを光源として用いた場合において、その半導体レーザからの熱的影響を受けることが少ない変位検出装置を提供する。【構成】 ケース11にスケール32を取り付けたスピンドル18を変位可能に設けるとともに、そのスケールに対して光を照射する半導体レーザ35およびスケールからの光を電気信号に変換する検出器36を設ける。また、半導体レーザとスケールとの間に断熱部材41を介在させ、半導体レーザからの熱がスケールに伝達されないようにする。また、半導体レーザからの熱をケースの外部へ放熱する放熱部材42をケースに装着する。これにより、スケールが半導体レーザからの熱的影響を受けることを少なくできる。
請求項（抜粋）：
ケースに変位部材を変位可能に設け、この変位部材に光学格子を有するスケールを固定するとともに、前記ケース内に前記スケールに対して光を照射する光源およびスケールからの光を電気信号に変換する検出手段を設けた変位検出装置において、前記光源を半導体レーザとするとともに、その半導体レーザと前記スケールとの間に断熱部材を介在させ、かつ、半導体レーザからの発熱を前記ケースの外部へ放熱する放熱部材を前記ケースに装着した、ことを特徴とする変位検出装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01D 5/26
