インクジェットプリンターヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055088
公開番号（公開出願番号）：特開平6-238897
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】【目的】圧電駆動式インクジェットプリンターに関して、インク吐出特性が安定した高度の信頼性を持つことを可能とするインクジェットプリンターヘッドを提供する。【構成】圧電性セラミックからなる貫通した溝を有する圧電性基板において、この溝内部に電極膜を形成し、その上に気相合成法によりパリレン膜を堆積後、パリレン膜上に無機酸化物膜を積層する構成とした。【効果】インク流路内の電極上に形成したパリレン膜をインクに対して親液性を改善することにより、インク注入時の空気の混入を防ぐことが可能となり、インク吐出特性が安定した高度の信頼性を有するインクジェットプリンターヘッドを提供することが可能となる。

請求項（抜粋）：

圧電性セラミックからなる圧電性基板に形成されている互いに平行な多数の溝と、この溝の上部に接着されている平板状の蓋とにより規定され、あるいはこの溝を有する面どうしを対向させて接着することにより規定されるインク流路と、このインク流路の一方の端部に接着されているインク吐出孔を有するノズル板とによって構成され、インク流路内面に駆動用電極膜を有する圧電駆動式インクジェットプリンターヘッドにおいて、前記電極膜の表面上にパリレン膜、無機酸化物膜が順次積層されていることを特徴とするインクジェットプリンターヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

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