特許

J-GLOBAL ID：200903035234775670

VUV耐性のレンズ及び縁枠の結合方法

発明者： フーベルト・ホルデラー ,  ヨハネス・クリスト
出願人/特許権者： カール・ツアイス・スティフツング
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-351182
公開番号（公開出願番号）：特開平11-267823
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 僅かな歪及び温度の負担で高い精度でUV耐性のあるレンズを枠に接合する技術を提供する。【解決手段】 レンズ1を取り付ける縁枠3にレンズと間隙を形成する面30を備えていて、その間隙を形成する面30に、はんだ、特に約100°C以下の温度で溶融する金属2で層を形成し、レンズ1をはんだ(2)の上に置き、はんだ2を溶融してレンズ1との強制的な結合を生じさせる。このように作られた光学構成群、並びに、この光学構成群を備えた顕微鏡又はマイクロリソグラフの投影露光装置が提供される。

請求項（抜粋）：

非金属、特に透明材料で作られた光学エレメント(1)、縁枠(3)又は縁枠エレメントからなる光学構成群において、光学エレメント(1)と縁枠(3)の間に備えられた、はんだからなる層(2)、特に約100°C以下で溶融する金属が、光学エレメント(1)との強制的な結合を作ることを特徴とする光学構成群。

IPC (3件)：

B23K 1/00 330 ,  G02B 7/00 ,  G02B 7/02

FI (3件)：

B23K 1/00 330 Z ,  G02B 7/00 J ,  G02B 7/02 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭54-094293
  
• 特開昭54-094293
  
• 特開昭61-162011
  

引用文献：

審査官引用 (2件)

• ろう付, 19620326, p.71
• ろう付, 19620326, p.71