特許

J-GLOBAL ID：200903035244282249

動圧気体軸受の評価方法、清掃方法、及び動圧気体軸受

発明者： 南野 安泰 ,  松尾 浩幸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286116
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137997
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 動圧気体軸受の評価方法、清掃方法、及び動圧気体軸受に関し、動圧気体軸受の性能や耐久性に対する信頼性を高めることができる動圧気体軸受の評価方法、動圧気体軸受の清掃方法、及び動圧気体軸受を提供することを目的とする。【構成】 中空の回転体1が微小空間を置いて外嵌される固定軸2内に、該固定軸2の周囲に静圧が発生する各静圧発生部3を該固定軸2の下部の周囲に連通させる通気孔4を形成し、各通気孔4に圧力センサ5を接続して、回転体1の回転時の静圧発生部3の静圧を圧力センサ5で測定して評価する構成とする。

請求項（抜粋）：

中空の回転体(1) が微小空間を置いて外嵌される固定軸(2)内に、該固定軸(2) の周囲に静圧が発生する各静圧発生部(3) を該固定軸(2) の下部の周囲に連通する通気孔(4) を形成し、各通気孔(4) に圧力センサ(5) を接続して、回転体(1) の回転時の静圧発生部(3) の静圧を圧力センサ(5) で測定して評価することを特徴とする動圧気体軸受の評価方法。

IPC (3件)：

G01M 13/04 ,  F16C 17/02 ,  G02B 26/10 102