検査ステージ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180206
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358204
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】三角形状のZベースの場合にはチャックトップの外周縁部が昇降駆動軸の結線(Zベースの各辺)よりも外側にはみ出すことになる。また、Zベース内にチャックトップを納めようとすると、Zベースを大型化せざるを得ず、これに伴ってX、Yステージを含めて他の構成部材も大型化する。【解決手段】本発明の検査用ステージ10は、ウエハを載置するチャックトップ11と、このチャックトップ11が配設された昇降可能なZベース12と、このZベースを昇降可能に支持し且つX方向に移動するXステージ13と、このXステージをX方向に移動可能に支持し且つY方向に移動するYステージ14とを備え、Zベースを矩形状に形成すると共にこのZベースの四隅にチャックトップ11を囲むZ軸昇降駆動機構17を設け、各Z軸昇降駆動機構17を介してZベース12を昇降可能に支持したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査体を載置する載置台と、この載置台が配設された昇降可能な支持体と、この支持体を昇降可能に支持し且つX方向に移動するXステージと、このXステージをX方向に移動可能に支持し且つY方向に移動するYステージとを備え、上記支持体を昇降可能に支持する昇降駆動機構を4箇所に設け、これらの昇降駆動機構を上記支持体上で互いに結ぶ結線の内側に上記載置台を配置したことを特徴とする検査ステージ。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/66 B

Fターム (16件)：

4M106AA01 , 4M106DD06 , 4M106DE30 , 4M106DJ01 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ06 , 5F031CA02 , 5F031HA57 , 5F031HA58 , 5F031JA01 , 5F031JA30 , 5F031JA32 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-202031
Zステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-126746 出願人：株式会社日本マイクロニクス
位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-118798 出願人：株式会社日立製作所

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