特許
J-GLOBAL ID：200903035261730298
排気装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281784
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115121
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 移動式真空チャンバの移動と排気とを効率良く行うことができるように改良された排気装置を提供する。【構成】 所定の経路に沿って移動する容器中の気体を、前記容器に設けられた排気口から排出するための排気装置の構成を、前記容器の前記排気口に嵌合する接続口および開閉弁を備え、前記容器の移動経路に沿う所定位置に配置される複数の接続管と、該複数の接続管が分岐された共通配管と、該共通配管に接続された排気ポンプと、当該排気装置を制御するための制御手段とを有するものとする。
請求項（抜粋）：
所定の経路に沿って移動する容器中の気体を、前記容器に設けられた排気口から排出するための排気装置に於て、前記容器の前記排気口に嵌合する接続口および開閉弁を備え、前記容器の移動経路に沿う所定位置に配置される複数の接続管と、該複数の接続管が分岐された共通配管と、該共通配管に接続された排気ポンプと、当該排気装置を制御するための制御手段とを有することを特徴とする排気装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, F04B 37/16
, H01L 21/02
