半導体集積回路の検査装置及びその検査方法並びにその検査プログラムを記録した記憶媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-209193
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099900
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】液晶ドライバLSI等の検査において、テスト時間の大幅な削減と、高精度試験を可能とする検査装置を提供すること。【解決手段】検査装置は、複数個のDAコンバータ2-1の出力電圧を、それぞれ、対応する出力端子3-1、...より出力する構成とした液晶ドライバLSI1を検査する。電圧測定器5により、第1の出力端子3-1より出力される複数の階調電圧の電圧値を測定し、各測定電圧値と対応期待電圧値との差電圧値を算出する。差動増幅器6-1、...には、第1出力端子以外の各出力端子3-2、...より出力される各出力電圧が、その一方の入力端子に入力され、上記第1出力端子より出力される出力電圧が他方の入力端子に共通に入力される。コンパレータ7は、複数の差動増幅器よりの増幅差分電圧を、その入力とし、各差動増幅器よりの増幅差分電圧が、それぞれ、所定の電圧範囲内にあるか否かを判定する。

請求項（抜粋）：

複数個のDAコンバータを内蔵し、該各DAコンバータの出力電圧を、それぞれ、対応する出力端子より出力する構成とした半導体集積回路の検査装置において、特定DAコンバータに対応する特定出力端子より出力される各階調の特定出力電圧値を測定し、該特定出力電圧値と、対応する期待電圧値との特定差分電圧値を算出する電圧測定手段と、各階調において、上記特定出力端子以外の上記各出力端子より出力される各出力電圧値と、上記特定出力電圧値とを入力し、それぞれの差分電圧値を算出して増幅する差動増幅手段と、該差動増幅手段から出力された増幅差分電圧値が、対応する階調の上記特定差分電圧値に応じて設定される判定電圧範囲内にあるか否かを判定する比較判定手段と、を備えることを特徴とする半導体集積回路の検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/316 , G01R 31/28 , G01R 31/319 , H03M 1/10

FI (4件)：

H03M 1/10 D , G01R 31/28 C , G01R 31/28 Y , G01R 31/28 R

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭61-016624
特開昭59-146219
特開昭59-204415

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