特許

J-GLOBAL ID：200903035266045852

共焦点光学系およびそれを用いた高さ測定装置

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-120510
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292590
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】共焦点光学系および共焦点光学系を用いる高さ測定装置において、試料の高さ方向に対して十分な検出精度を得る。【解決手段】光源2により試料11の表面と共役な位置に配したピンホール4を照明し、ピンホール4を透過した照明光は対物レンズ9を介して試料11の表面にピンホール4の像を投影する。試料11の表面で反射された信号光は逆の経路を辿り、対物レンズ9の焦点面近傍からの信号光だけが試料11の表面と共役な位置に配した第2のピンホール12を通過して可飽和吸収体13に入射する。可飽和吸収体13は入射光が強くなると、可飽和吸収により出射する光がより強く出射されるレーザ媒質であり、可飽和吸収体13を透過した信号光は光検出器14で結像して光電変換される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を出射するピンホールと、 前記ピンホールの像を所定の焦点面上で結像させ、試料の表面に投影する光学系と、 前記ピンホール、または前記ピンホールと光学的に共役な位置に設けられたピンホールを透過した前記試料からの反射光の入射光強度に応じて正の非線形な出力を発生する可飽和吸収体と、 前記可飽和吸収体から出射された光を受光して電気信号として出力する受光手段とを備えることを特徴とする高さ測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B11/00 B ,  G01B11/24 A

Fターム (27件)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF46 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065HH10 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM16 ,  2F065UU07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 共焦点顕微鏡及び高さ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-206520   出願人：オリンパス株式会社
• 焦点誤差検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-020210   出願人：日本電気株式会社