特許

J-GLOBAL ID：200903035267141367

液状エッチングレジスト組成物

発明者： 中山 一郎 ,  柳 平次郎 ,  中込 道次
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
代理人 (1件)： 佐々 紘造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294980
公開番号（公開出願番号）：特開平9-114091
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 有機溶剤を多量に使用することなく安全に感光性樹脂皮膜を銅張り積層板表面に形成する技術を提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物からなる希アルカリ現像型液状エッチングレジストとアルカリ水溶液よりなる液状エッチングレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂組成物からなる希アルカリ現像型液状エッチングレジストとアルカリ水溶液よりなる液状エッチングレジスト組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 501 ,  C08F 2/48 MDH ,  C08K 7/00 KCJ ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/42 620

FI (5件)：

G03F 7/004 501 ,  C08F 2/48 MDH ,  C08K 7/00 KCJ ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/42 620 A