特許

J-GLOBAL ID：200903035267817328

反射防止膜用の多孔性シリカゼオライト薄膜

発明者： 王 正宝 ,  花畑 博之
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194202
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037795
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】低屈折率でかつ高硬度な反射防止膜用の多孔性シリカゼオライト薄膜の提供。【解決手段】屈折率が1.4以下で結晶化度が0.14〜0.63であることを特徴とする反射防止膜用の多孔性シリカゼオライト薄膜【選択図】 選択図なし

請求項（抜粋）：

屈折率が1.4以下で結晶化度が0.14〜0.63であることを特徴とする反射防止膜用の多孔性シリカゼオライト薄膜。

IPC (3件)：

G02B1/11 ,  B05D7/24 ,  C01B37/02

FI (3件)：

G02B1/10 A ,  B05D7/24 302Y ,  C01B37/02

Fターム (32件)：

2K009AA04 ,  2K009BB24 ,  2K009CC12 ,  2K009DD02 ,  2K009DD06 ,  4D075CA02 ,  4D075CA48 ,  4D075CB02 ,  4D075CB06 ,  4D075CB07 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB33 ,  4D075DB43 ,  4D075DB48 ,  4D075DB55 ,  4D075DC01 ,  4D075DC13 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075DC38 ,  4D075EA10 ,  4D075EB43 ,  4D075EB47 ,  4G073CZ54 ,  4G073FB42 ,  4G073FC01 ,  4G073GA02 ,  4G073GA35 ,  4G073UB14