特許

J-GLOBAL ID：200903035268074736

電解銅箔厚調整用遮蔽板の製造方法

発明者： 横山 将希 ,  安 ▲よう▼ ,  菅野 健次 ,  星 芳男
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社 ,  古河サーキットフォイル株式会社
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298564
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143784
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】 電解銅箔厚調整用遮蔽板を製造するのに要する労力、費用および時間を大幅に低減する。【解決手段】 既存の遮蔽板の長さ分布データとこの遮蔽板を用いて製造した銅箔の厚さ分布データとに基づいて構築したニューラルネットワーク(10)へ遮蔽板長さ分布の候補データを入力すると、ニューラルネットワークでは予測銅箔厚さ分布データが求められる。最適化システム(20)では、予測銅箔厚さ分布データと目標銅箔厚さ分布データとの近さを表す評価関数値を最小にする遮蔽板長さ分布の最適データが求められる。そして、最適データに基づいて遮蔽板が実際に製造される。

請求項（抜粋）：

電解槽内の電解液に浸漬された回転ドラムと電極板との間に電位差を与えて前記回転ドラムに電着させた銅を剥離することにより得られる電解銅箔の厚さ分布を調整するために前記回転ドラムと前記電極板との間に配される電解銅箔厚調整用遮蔽板の製造方法において、遮蔽板長さ分布から予測銅箔厚さ分布を求めるニューラルネットワークを、既存の遮蔽板の長さ分布データと前記既存の遮蔽板を用いて製造した電解銅箔の厚さ分布データとに基づいて構築する工程と、前記ニューラルネットワークに遮蔽板長さ分布の候補データを入力する工程と、目標銅箔厚さ分布と、前記候補データの入力に応じて前記ニューラルネットワークから出力される予測銅箔厚さ分布とを最適化システムに入力する工程と、前記予測銅箔厚さ分布と前記目標銅箔厚さ分布との近さを表す評価関数値を最小にする遮蔽板長さ分布の最適データを前記最適化システムにより求める工程と、前記目標銅箔厚さ分布を有する電解銅箔を製造するための遮蔽板を、前記最適データに基づいて製造する工程とを備えることを特徴とする、電解銅箔厚調整用遮蔽板の製造方法。