特許
J-GLOBAL ID：200903035269258962
半導体露光装置用の照明装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-345566
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159964
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 コヒーレント長が長い光源に対し光路差生起手段を大型にせずにスペックルを防止でき、光学薄膜の施された個所を低減できる照明装置を提供する。【解決手段】 入射ビーム1はプリズム3の入出射面2に角度θで入射する。入射ビーム1は入射面2の光学薄膜等の手段により反射光と屈折光5とに所定の比率で分割される。屈折光5はプリズム中を進行し、薄膜のない反射面6,8で全反射し反射面7で反射して入射位置2aの近傍に戻ってくる。戻ってきた周回光は、最初の反射光に平行でプリズム3の外部に向かう出射光とプリズム中に進行する反射光とに分割される。入出射面2でプリズム内に反射された反射光は再びプリズム中の周回を繰り返す。入射ビーム1のほぼ全てが反射光と後続する出射光として合流し出射ビーム4となる。出射ビームの各出射光の通過した光路長の間の差は可干渉距離の二分の一以上とされているのでスペックルが低減される。
請求項（抜粋）：
コヒーレント光源と、コヒーレント光源からの入射ビームを複数のビームに分割し、分割した各ビームに異なる光路長を与え、異なる光路長を通過した各ビームを再度適宜に集めて出射ビームを形成する光路差生起手段とを有し、光路差生起手段が形成した出射ビームを用いて照明対象を照明する露光装置用の照明装置において、前記光路差生起手段は、ビームに関わらない面を除いたとき、中心軸に直交する横断面が四角形以上の多角形をなす柱状のプリズムであり、中心軸に平行な一側面が入出射面とされ、前記入出射面の一部には部分透過膜が施され、前記入出射面の入射位置に入射された入射ビームが、入出射面において、プリズム外に向かう反射光と、プリズム内に向かう屈折光とに分割され、前記屈折光はプリズム内を進行し、反射手段の施されていない中心軸に平行な側面では全反射され、反射手段の施された中心軸に平行な側面では反射されて周回し、入出射面の入射位置より所定距離離れた位置に戻り、プリズム外に向かう出射光と、プリズム内に向かう反射光とに分割され、前記プリズム内に向かう反射光により周回動作が繰り返され、入出射面からの反射光と複数の出射光とからなる出射ビームを形成する、ことを特徴とする照明装置。
IPC (5件)：
G02B 27/00
, G02B 27/09
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 27/00 V
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, G02B 27/00 E
, H01L 21/30 515 B
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 527
