特許

J-GLOBAL ID：200903035271660751

レチクルケース搬送装置

発明者： 富澤 巧
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074011
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269301
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 レチクルケースをいつでも露光チャンバに出し入れでき、露光作業が制限を受けずに生産性が高く、しかも人体に対して露光光が到達しない安全性に優れたレチクルケース搬送装置を提供する。【解決手段】 レチクルストッカー20と露光チャンバ31とを連結し、遮光壁で覆われているトンネル配膳路101と、トンネル配膳路内を走行してレチクルケース5を露光チャンバ31とレチクルストッカー20との間で配膳する配膳手段102と、配膳手段102とレチクルライブラリ4との間で配膳手段102により配膳されたレチクルケース5をレチクルライブラリ4に搬送、装着し、レチクルライブラリ4からレチクルケース5を脱着、搬送して配膳手段102に引き渡す搬送手段121〜124とを備える構成とする。

請求項（抜粋）：

レチクルを保管するレチクルストッカーと露光装置が納められている露光チャンバとを連結し、遮光壁で覆われているトンネル配膳路と、このトンネル配膳路内を走行してレチクルが納められたレチクルケースを前記露光チャンバと前記レチクルストッカーとの間で配膳する配膳手段と、この配膳手段と前記露光チャンバ内のレチクルを保管するレチクルライブラリとの間で、前記配膳手段により配膳された前記レチクルケースを前記レチクルライブラリに搬送,装着し、前記レチクルライブラリから前記レチクルケースを脱着,搬送して前記配膳手段に引き渡す搬送手段とを備えることを特徴とするレチクルケース搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 503 E

Fターム (18件)：

5F031CA07 ,  5F031DA09 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031MA27 ,  5F031NA08 ,  5F031PA03 ,  5F046AA21 ,  5F046BA04 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA29 ,  5F046DD04