特許
J-GLOBAL ID:200903035277782565

散乱物体の光学定数決定法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 工業技術院機械技術研究所長 (外1名) ,  川井 治男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-300464
公開番号(公開出願番号):特開平9-126878
出願日: 1995年10月26日
公開日(公表日): 1997年05月16日
要約:
【要約】【課題】 光の伝播に関して半無限あるいは無限平板と考えられない小さな試料に対しても、また光学定数に分布がある試料に対しても、光学定数の決定ができる光学定数決定法を提供する。【解決手段】 散乱物体の等価散乱係数μ′s と吸収係数μa の組み合わせの多数についてモンテカルロ法により出力光強度の時間変化を算出しておき、次に試料にパルス光を入射して出力光強度の時間変化を測定し、前記測定した出力光強度の時間変化が前記算出した出力光強度の時間変化のいずれかに一致または相似しているとき、前記算出した出力光強度の時間変化における等価散乱係数μ′sと吸収係数μa を前記試料の等価散乱係数μ′s と吸収係数μa であると決定する。
請求項(抜粋):
散乱物体の等価散乱係数μ′s と吸収係数μa の組み合わせの多数についてモンテカルロ法により出力光強度の時間変化を算出しておき、次に試料にパルス光を入射して出力光強度の時間変化を測定し、前記測定した出力光強度の時間変化が前記算出した出力光強度の時間変化のいずれかに一致または相似しているとき、前記算出した出力光強度の時間変化における等価散乱係数μ′s と吸収係数μa を前記試料の等価散乱係数μ′s と吸収係数μa であると決定することを特徴とする散乱物体の光学定数決定法。
IPC (4件):
G01J 1/00 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/47 ,  G06F 17/17
FI (4件):
G01J 1/00 H ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/47 Z ,  G06F 15/353

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