特許

J-GLOBAL ID：200903035279809592

薄膜光導波路素子及びその製造方法

発明者： 青木 真金
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215903
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063937
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 フォトリソグラフィ法によるウェットエッチングによりテーパー結合部を形成することにより、異種導波路間の結合においても高効率な導波光の結合が行える薄膜光導波路素子及びその製造方法を提供する。【構成】 基板6上に第一光導波層8を有する第一光導波部Aと、第一光導波層8よりも等価屈折率が大きい第二光導波層9を有する第二光導波部Bと、第二光導波層9よりも等価屈折率の小さい第三光導波層10を有する第三光導波部Cとを結合させてなる薄膜光導波路素子において、第一光導波部Aと第二光導波部Bとの間に位置して第一光導波層8の下層に第二光導波層9の膜厚が導波光12の進行方向に向かってテーパー状に増加した第一結合部aを形成し、第二光導波部Bと第三光導波部Cとの間に位置して第二光導波層9の膜厚が導波光12の進行方向に向かってテーパー状に徐々に減少した第二結合部bを形成した。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第一光導波層を有する第一光導波部と、前記第一光導波層よりも等価屈折率が大きい第二光導波層を有する第二光導波部と、前記第二光導波層よりも等価屈折率の小さい第三光導波層を有する第三光導波部とを結合させてなる薄膜光導波路素子において、前記第一光導波部と前記第二光導波部との間に位置して前記第一光導波層の下層に前記第二光導波層の膜厚が導波光の進行方向に向かって0から徐々に前記第二光導波層の膜厚になるまでテーパー状に増加した第一結合部を形成し、前記第二光導波部と前記第三光導波部との間に位置して前記第二光導波層の膜厚が導波光の進行方向に向かって前記第三光導波層の膜厚になるまでテーパー状に徐々に減少した第二結合部を形成したことを特徴とする薄膜光導波路素子。