特許
J-GLOBAL ID：200903035280716093
超精密処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270644
公開番号（公開出願番号）：特開平11-096959
出願日： 1997年09月17日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 空調音響振動の影響を防止する。【解決手段】 測長SEM10はクリーンルーム1の床2の上に設置され、架台11の上には試料チャンバ12、鏡筒13、ローダ14、カバー15が構築されている。鏡筒13を被覆したカバー15の頂部にはクリーンルーム1のダウンブロー流が乱流を起こすのを防止する整流部20が形成されている。カバー15は内壁21と外壁22との二重構造に構築されており、内壁21と外壁22とは弾性材料で形成された支柱24で弾性的に互いに支持されている。カバー15の密閉空間23は1000Pa以下に減圧されている。【効果】 乱流でカバーが振動されるのを整流部で防止できる。クリーンルームの空気流や音響振動でカバーの外壁に振動が発生しても、外壁の振動が内壁に伝わるのを防止できる。カバー内の鏡筒に振動が伝わるのを防止できるため、測長SEMの測長精度を向上できる。
請求項（抜粋）：
クリーンルームに設置される超精密処理装置であって、処理を実行する処理部がカバーによって覆われている超精密処理装置において、前記カバーに前記クリーンルームの空気流が接触したときの乱流の発生を防止する整流部が形成されていることを特徴とする超精密処理装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, F24F 7/06
, G10K 11/16
, H01L 21/02
H01J 37/28 B
, F24F 7/06 C
, H01L 21/02 Z
, G10K 11/16 J
