特許

J-GLOBAL ID：200903035295232718

電気光学基板、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器

発明者： 片山 茂憲
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-029415
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241617
出願日： 2003年02月06日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】半導体素子の安定な特性を実現するとともに、良好な表示特性を供することが可能な電気光学装置を提供する。【解決手段】本発明の電気光学装置は、一対の基板10,20間に電気光学物質を挟持してなり、基板10上に半導体層1を有する半導体素子30と、半導体素子30と接続された画素電極91とを備え、半導体層1の上層には窒化珪素層5が形成され、該窒化珪素層5は、基板面内において、画素電極91の形成領域に重畳する位置に少なくとも開口部を有してなることを特徴とする。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

基材上に半導体層を有する半導体素子を備えてなる電気光学基板であって、 前記半導体層の上層には窒化珪素層が形成され、 前記窒化珪素層は平面内において少なくとも開口部を有してなることを特徴とする電気光学基板。

IPC (7件)：

H01L29/786 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (7件)：

H01L29/78 619A ,  G02F1/1333 505 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 338 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (74件)：

2H090HB04X ,  2H090HC12 ,  2H090HD01 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H092JA24 ,  2H092JB57 ,  2H092KB25 ,  2H092MA07 ,  2H092MA13 ,  2H092NA03 ,  2H092NA17 ,  3K007AB11 ,  3K007AB13 ,  3K007CA00 ,  3K007DB03 ,  5C094AA08 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA06 ,  5C094EB02 ,  5C094ED11 ,  5C094ED13 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB15 ,  5F110AA14 ,  5F110BB01 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE28 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HL01 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HL23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ11