特許
J-GLOBAL ID：200903035300752792
走査型静電容量顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186665
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030623
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 走査型静電容量顕微鏡では、LC共振回路の傾きが急なところで測定した場合にもっとも感度がよいが、LC共振回路の共振周波数は用いるカンチレバーや測定する試料もしくはそれらの位置関係により順次変化してしまうためその都度発振周波数を設定する必要があるが、そのためには、共振回路特性を知るために何らかの信号をモニターする必要がある。従来は検波回路においてピーク検波した直流電圧をモニターしていたが、直流であるためにS/Nが悪いという問題があった。【課題手段】 本発明は、発振回路と共振回路と検波回路からなるキャパシンタンスセンサーを有する走査型静電容量顕微鏡において、共振回路特性の変化を読みとる手段と、測定感度が最適となるように、発振回路の発振周波数もしくは共振回路の共振周波数を調整する手段を有するとともに発振周波数を変調する手段を有することを特徴とする走査型静電容量顕微鏡を提供する。
請求項（抜粋）：
発振回路と共振回路と検波回路からなるキャパシタンスセンサーを有する走査型静電容量顕微鏡において、前記共振回路特性の変化を読みとる手段と、測定感度が最適となるように、発振回路の発振周波数もしくは共振回路の共振周波数を調整する手段を有するとともに発振周波数を変調する手段を有することを特徴とする走査型静電容量顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 H
, G01B 7/30 Z
