特許

J-GLOBAL ID：200903035305786504

照明装置及びそれを用いた露光装置

発明者： 矢吹 晃 ,  七五三木 浩一 ,  森 堅一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-388626
公開番号（公開出願番号）：特開2003-187628
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】 ランプが破裂したとしても、破片が飛散しないようにし、保護カバーを装着したままの状態では、ランプが点灯しないように制御可能にする。【解決手段】 ランプ1を光源とし、被照明面を照明する照明装置であって、ランプ1には該ランプ1を保護するための保護カバー3を具備し、装置内部のランプ1に保護カバー3を装着してない状態では、該ランプ1の取り外しを不能にするインターロック機構11を有し、保護カバー3をランプ1に装着するとインターロック機構11による該ランプ1の取り外し不能状態が解除される。

請求項（抜粋）：

ランプを光源とし、被照明面を照明する照明装置において、前記ランプには該ランプを保護するための保護カバーを具備し、装置内の前記ランプに前記保護カバーを装着してない状態では、前記ランプの取り外しを不能にするインターロック機構を有し、前記保護カバーを前記ランプに装着すると前記インターロック機構による該ランプの取り外し不能状態が解除されることを特徴とする照明装置。

IPC (6件)：

F21V 15/00 ,  F21S 2/00 ,  F21V 25/00 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027 ,  F21Y101:00

FI (7件)：

F21V 25/00 ,  G03F 7/20 501 ,  F21Y101:00 ,  F21M 7/00 H ,  H01L 21/30 515 C ,  F21M 1/00 B ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (14件)：

2H097CA01 ,  2H097CA12 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  3K014AA01 ,  3K014JA01 ,  3K042AA01 ,  3K042AC06 ,  3K042CA00 ,  3K042CC04 ,  5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CA02 ,  5F046CA10