多数点変位測定装置及び多数点変位測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林靖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134796
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328011
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】本発明は、近接した多数点であっても、変位量を低コストで同時に測定することを可能にし、光学部品の配置に制約を受けることが少なく、測定誤差が少なく、測定範囲も広く、応答性が高い多数点変位測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の多数点変位測定装置は、光ファイバ4a,4b,・・,4nと、レーザ光を発光する複数の半導体レーザ2a,2b,・・,2nと、半導体レーザを発振させる半導体レーザドライバ1a,1b,・・,1nと、集光レンズ9により受光面上で焦点を結んだレーザ光が発生する光電流を検出する半導体位置検出素子10とを備え、制御部11が、半導体レーザドライバ1a,1b,・・,1nに順次駆動パルスを送り、半導体レーザ2a,2b,・・,2nをサイクリックに発光させるとともに、測定対象物に光ファイバの各出射側端,集光レンズ,半導体位置検出素子の少なくともいずれかが取り付けられたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数の光ファイバと、前記光ファイバのそれぞれに対応付けられ、それぞれに入射する光を発光する複数のパルス光源と、前記パルス光源のそれぞれを発振させる複数のパルス光源ドライバと、前記パルス光源を発振させるための駆動電圧を供給する電源部と、前記光ファイバの出射側端から出射した光を集光する集光レンズと、該集光レンズにより受光面上で焦点を結んだ光が発生する光電流を検出する半導体位置検出素子と、前記半導体位置検出素子が検出した光電流から各光ファイバの光点位置を演算する演算増幅部と、前記パルス光源ドライバを制御する制御部とを備え、前記光ファイバ,前記集光レンズ,前記半導体位置検出素子の少なくともいずれかが測定対象物に取り付けられるとともに、前記制御部が、前記パルス光源ドライバのそれぞれに順次駆動パルスを送り、前記パルス光源をサイクリックに発光させたことを特徴とする多数点変位測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/16 , G01B 11/00 , G01N 3/06 , G01D 5/26

FI (4件)：

G01B 11/16 Z , G01B 11/00 Z , G01N 3/06 , G01D 5/26 D

Fターム (29件)：

2F065AA03 , 2F065AA65 , 2F065BB29 , 2F065FF01 , 2F065FF10 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ16 , 2F065LL02 , 2F065QQ01 , 2F065QQ04 , 2F103BA00 , 2F103BA43 , 2F103EB02 , 2F103EB08 , 2F103EB15 , 2F103EB17 , 2F103EB27 , 2F103EC04 , 2F103EC09 , 2F103ED27 , 2F103FA11 , 2F103GA15 , 2F103GA16 , 2G061AA01 , 2G061EA02 , 2G061EB07

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