特許
J-GLOBAL ID：200903035319776188
湿度調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337885
公開番号（公開出願番号）：特開2000-161710
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 微小重力下でも用いることができるバブンリグ操作を用いた湿度調整装置を提供する。【解決手段】 水を貯留する容器9の空気供給口11には多孔質材料から成り、水のみを通過させる供給側気液分離部材13が設けられ、空気排出口12には同様に多孔質材料から成る排出側気液分離部材14が設けられる。水循環手段15は空気排出口12寄りの水排出口16から排出される空気を空気供給口11寄りの水供給口17に供給して容器9内で空気供給口11から空気排出口12に向けて水を流す。したがって、チャンバ3から供給された空気は供給側気液分離部材13から気泡として発生し、水流にのって排出側気液分離部材14まで移動して気泡は消滅して飽和状態となった気泡内の空気も排出し、空気戻り管路5を介してチャンバ3に戻される。
請求項（抜粋）：
水を貯留し、空気が供給される空気供給口および空気を排出する空気排出口を有する容器と、容器の空気供給口と水貯留空間とを仕切り、空気のみを通過させる多孔質材料から成る供給側気液分離部材と、容器の空気排出口と水貯留空間とを仕切り、空気のみを通過させる多孔質材料から成る排出側気液分離部材と、容器の空気排出口寄りに設けられる水排出口から排出される水を、容器の空気供給口寄りに設けられる水供給口に供給して水を循環させる水循環手段とを備えることを特徴とする湿度調整装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
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