リニアモータ付XYテーブル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-353279
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184517
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】 XYテーブルの高さが低く移動部の重量を低減することができ、発進停止の応答性が良好で正確な位置決め精度が確保できるリニアモータ付XYテーブルを提供する。【解決手段】第1の直線案内装置4を介して基台1に中間サドル2をX軸方向へ摺動自在に取り付けるとともに、中間サドル2には第2の直線案内装置5を介してテーブル本体3をY軸方向へ摺動自在に取付け、中間サドル2をX軸方向へ駆動する第1のリニアモータ11とテーブル本体3をY軸方向へ駆動する第2のリニアモータ16とを設け、基台1の上面に第1のリニアモータ11の固定子12をX軸方向に配列するとともにテーブル本体3の下面に第2のリニアモータ16の固定子17をY軸方向に配列し、中間サドル2の空所に第1及び第2のリニアモータ11,16の可動子13,18を互いに直交させ、かつ背面合わせに配設した。

請求項（抜粋）：

第1の直線案内装置を介して基台に中間サドルをX軸方向へ摺動自在に取り付けるとともに、前記中間サドルには第2の直線案内装置を介してテーブル本体を前記X軸と直交するY軸方向へ摺動自在に取付け、前記中間サドルをX軸方向へ駆動する第1のリニアモータと前記テーブル本体をY軸方向へ駆動する第2のリニアモータとを設けたリニアモータ付XYテーブルにおいて、前記基台の両側面にボール転走溝を形成するとともに上面に前記第1のリニアモータの固定子をX軸方向に配列し、前記テーブル本体の両側面にボール転走溝を形成するとともに下面に前記第2のリニアモータの固定子をY軸方向に配列し、前記中間サドルは矩形状の平板部と、この平板部の上面と下面の両側部から方向を変えて突出して互いに直交して形成された上下部補強部とを有し、前記平板部の中央の空所に前記第1及び第2のリニアモータの可動子を互いに直交させ、かつ背面合わせに配設し、前記下部補強部の内側面に前記基台の両側面のボール転走溝と対向するボール転走溝を形成し、かつ該ボール転走溝から離間した位置に逃げボール軌道路を設けるとともに前記ボール転走溝と逃げボール軌道路とを連通する連通路を設け、前記ボール転走溝、連通路及び逃げボール軌道路からなる無限軌道内を多数のボールを循環させて前記第1の直線案内装置を構成し、前記上部補強部の内側面に前記テーブル本体の両側面のボール転走溝と対向するボール転走溝を形成し、かつ該ボール転走溝から離間した位置に逃げボール軌道路を設けるとともに前記ボール転走溝と逃げボール軌道路とを連通する連通路を設け、前記ボール転走溝、連通路及び逃げボール軌道路からなる無限軌道内を多数のボールを循環させて前記第2の直線案内装置を構成したことを特徴とするリニアモータ付XYテーブル。

IPC (4件)：

F16C 29/06 , B23Q 1/26 , H01L 21/68 , H02K 41/02

FI (6件)：

F16C 29/06 , B23Q 1/26 , H01L 21/68 K , H02K 41/02 C , B23Q 1/18 , B23Q 1/18 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公平4-026970
特開昭61-076247
特公平4-026970

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