特許

J-GLOBAL ID：200903035328104060

エキシマレーザ装置のガス循環ファン

発明者： 矢田 雄司
出願人/特許権者： NTN株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-250596
公開番号（公開出願番号）：特開2003-056489
出願日： 2001年08月21日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 機械体ユニットとコントローラの完全互換性を持ったエキシマレーザ装置のガス循環ファンを提供する。【解決手段】 主軸1を非接触で支持する磁気軸受41,42とコントローラ7との間に中継器15,16を設け、各中継器15,16には位置検出センサ回路151,161と、オフセット調整器152,162、とフィードバックゲイン調整器153,163、とフィルタ回路154,164とを内蔵させ、機械体ユニット25とコントローラ7との間の互換性を持たせることを可能にする。

請求項（抜粋）：

ファンが取付けられた回転軸と、前記回転軸を非接触で支持する制御型磁気軸受と、前記制御型磁気軸受を制御するコントローラと、前記回転軸を回転させるためのモータとを備え、前記モータの駆動によるファンの回転によってチャンバ内のレーザガスを循環させるエキシマレーザ装置のガス循環ファンにおいて、前記制御型磁気軸受と前記コントローラとの間に、該制御型磁気軸受の個体差による特性のばらつきを補償する補償器を介在させたことを特徴とする、エキシマレーザ装置のガス循環ファン。

IPC (5件)：

F04D 29/04 ,  F04D 29/00 ,  F16C 32/04 ,  H01S 3/036 ,  H01S 3/225

FI (7件)：

F04D 29/04 M ,  F04D 29/04 P ,  F04D 29/04 R ,  F04D 29/00 B ,  F16C 32/04 A ,  H01S 3/223 E ,  H01S 3/03 J

Fターム (20件)：

3H022AA02 ,  3H022BA06 ,  3H022BA07 ,  3H022CA16 ,  3H022CA50 ,  3H022DA07 ,  3H022DA09 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102CA10 ,  3J102CA20 ,  3J102DA09 ,  3J102DB05 ,  3J102DB10 ,  3J102DB16 ,  3J102DB27 ,  3J102GA20 ,  5F071AA06 ,  5F071FF09 ,  5F071JJ03