特許

J-GLOBAL ID：200903035334957997

欠陥検査装置

発明者： 伊藤 光隆
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-314352
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149891
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 オンラインで被検体を検査中でも自己診断を行うことができる欠陥検査装置を提供する。【構成】 被検体33a,33bの検査中に被検体33a,33bの接続点35の所定距離d/2手前の位置を検出し、この所定距離d/2手前の位置を検出した時点から接続点を通過した後の所定距離d/2までの間、自己診断を行う。

請求項（抜粋）：

連続的に複数接続した被検体の表面を該被検体に沿って順次検査し、該被検体の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、被検体の表面を順次検査している間に被検体の接続点の所定距離手前の位置を検出する接続点検出手段と、該接続点検出手段が接続点の所定の距離手前の位置を検出した時点から接続点を通過した後の所定距離までの間、自己診断を行う自己診断手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/88 ,  G01N 29/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭54-084784
  
• 特開平1-145553
  
• 特開昭58-102139