特許

J-GLOBAL ID：200903035335732433

液化材料ガスの流路閉塞防止方法およびその装置

発明者： 松尾 剛伸 ,  加賀爪 哲 ,  川田 幸司 ,  米華 克典 ,  池田 信一 ,  森本 明弘 ,  皆見 幸男
出願人/特許権者： 株式会社フジキン ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220377
公開番号（公開出願番号）：特開平11-063400
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【目的】 液化材料ガスがライン中でオリフィス等の絞り機構を通過する際に液化して流路を閉塞する現象を防止する流路閉塞防止方法およびその装置を提供する。【構成】 高圧側の1次側配管PP1 から液化材料ガスを絞り機構V3 を介して低圧側の2次側配管PP2 へ流送する流量制御方法に於いて、1次側配管及び絞り機構の温度を材料ガスの1次側圧力が飽和蒸気圧であるとしたときの温度(飽和蒸気圧温度)より高温度に設定する。この方法を具体化する装置として、1次側配管内のガス圧力を検出する1次側圧力検出器P1 と、この圧力に対応した飽和蒸気圧温度を演算する演算制御装置CCと、この演算制御装置CCの指令により1次側配管及び絞り機構の温度を前記飽和蒸気圧温度より高温度に設定する1次側配管ヒーターH1 から構成する。

請求項（抜粋）：

高圧側の1次側配管から液化材料ガスを絞り機構を介して低圧側の2次側配管へ流送する流量制御方法において、1次側配管及び絞り機構の温度を材料ガスの1次側圧力が飽和蒸気圧であるとしたときの温度(飽和蒸気圧温度)より高温度に設定することを特徴とする液化材料ガスの流路閉塞防止方法。

IPC (3件)：

F17D 1/05 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

F17D 1/05 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B