特許
J-GLOBAL ID：200903035340855829
高粘度ペーストの充填方法及び充填装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144618
公開番号（公開出願番号）：特開平5-337425
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 ペースト充填用スキージがマスクから離間する場合でも、それに伴いマスクが持ち上がることを防止し、ランド部のペーストの飛散をなくす。【構成】 充填装置10は、グリーンシート1のスルーホール形成用孔2に高粘度のタングステンペーストPを充填するための装置である。充填装置10は、ローラスキージRと、ペーストPを掻き取るための第一のスクレッパS1 とを有している。この充填装置10は、マスク押圧部材としての第二のスクレッパS2 をも有している。第二のスクレッパS2 は、ローラスキージR及び第一のスクレッパS1 と独立して上下動する。また、第二のスクレッパS2 は、第一のスクレッパS1 よりもローラスキージR側の位置においてマスクMを押圧する。
請求項（抜粋）：
微小孔(2)を備えた基材(1)上にマスク(M)を密接配置するための定盤(5)と、前記マスク(M)に対して相対移動可能な支持体(6)と、その支持体(6)に設けられると共に互いに独立して上下動可能なペースト充填用スキージ(R)及びペースト掻き取り用スキージ(S1 )とを備えた高粘度ペーストの充填装置において、少なくともペースト充填用スキージ(R)と独立して上下動でき、かつペースト掻き取り用スキージ(S1 )よりもペースト充填用スキージ(R)側の位置にて前記マスク(M)を押圧するマスク押圧部材(S2 ,21,31)を設けることを特徴とする高粘度ペーストの充填装置。
IPC (5件)：
B05C 11/02
, B05C 1/02 104
, B41F 15/08 303
, B41F 15/40
, H05K 3/40
