高出力パルス光源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-266532
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076484
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】パルスオフ時の光の出力を抑制し、高出力のパルス光を出力することができる高出力パルス光源を提供する。【解決手段】パルス状の電気信号を出力するパルス信号源2aとパルス信号源2aからのパルス状電気信号をパルス光に変換するレーザダイオード2bとを有するパルス種光源2と、パルス種光源2からのパルス光を増幅する希土類元素ドープファイバ増幅器3とを備えた高出力パルス光源1において、パルス種光源2のパルスオフ時の出力パワーを100μW以下とする。

請求項（抜粋）：

パルス状の電気信号を出力するパルス信号源と、該パルス信号源からのパルス状電気信号をパルス光に変換するレーザダイオードと、を有するパルス種光源と、上記パルス種光源からのパルス光を増幅する希土類元素ドープファイバ増幅器と、を備えた高出力パルス光源において、上記パルス種光源のパルスオフ時の出力パワーが100μW以下であることを特徴とする高出力パルス光源。

IPC (3件)：

H01S 3/10 , H01S 3/06 , H01S 5/12

FI (3件)：

H01S 3/10 Z , H01S 3/06 B , H01S 5/12

Fターム (6件)：

5F072AB09 , 5F072AK06 , 5F072JJ04 , 5F072KK30 , 5F073AA64 , 5F073EA29

引用特許：

審査官引用 (3件)

光パルス増幅装置、チャープパルス増幅装置およびパラメトリック・チャープパルス増幅装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-068892 出願人：イムラアメリカインコーポレイテッド
レ-ザ装置並びにこのレ-ザ装置を用いた露光装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-063256 出願人：株式会社ニコン
高エネルギーレベルを有する高ピークパワーを供給する光増幅器
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-526051 出願人：エスディーエルインク.

引用文献：

審査官引用 (2件)

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