特許
J-GLOBAL ID：200903035370080406
内周刃砥石
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169300
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010548
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 一定の湾曲を有する均一なウェーハを製造することができ、しかも切り込み圧力によって台金が湾曲した場合にも台金とインゴットとの接触が生じにくい内周刃砥石を提供する。【解決手段】 円環板状をなす台金2と、その内周縁部の全周に亙って金属めっき相で超砥粒を固着させてなる電着砥粒層3とを具備し、台金2の内周端面には凸部6が形成され、台金2の第1面2Aから凸部6までの台金厚さ方向距離t1は、第2面2Bから凸部6までの台金厚さ方向距離t2より小さく、第1面2Aからの電着砥粒層3の側面突出量T1は第2面2Bからの電着砥粒層3の側面突出量T2より小さい。これにより、電着砥粒層3の最大突出点3Aは第1面2A側へ偏心している。
請求項（抜粋）：
円環板状をなす台金と、この台金の内周縁部の全周に亙って金属めっき相で超砥粒を固着させてなる電着砥粒層とを具備し、前記台金の内周端面には、台金内周側へ向けて突出する凸部が形成されており、前記台金の第1面から前記凸部までの台金厚さ方向距離t1は、前記台金の第2面から前記凸部までの台金厚さ方向距離t2より小さく、前記台金の第1面からの前記電着砥粒層の側面突出量T1は前記台金の第2面からの前記電着砥粒層の側面突出量T2より小さく、前記電着砥粒層の台金内周方向への最大突出点は前記第1面側へ偏心していることを特徴とする内周刃砥石。
IPC (3件)：
B24D 5/12
, B24D 3/00 320
, B24D 3/06
B24D 5/12 A
, B24D 3/00 320 B
, B24D 3/06 B
