特許
J-GLOBAL ID:200903035371156821

水晶振動子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-171644
公開番号(公開出願番号):特開平8-018371
出願日: 1994年06月30日
公開日(公表日): 1996年01月19日
要約:
【要約】【目的】 薄い水晶板の厚み方向に分離した電極を容易に形成することが目的である。【構成】 厚み方向に極性の異なる電極を形成するエッチングの深さが厚みの1/5より少なく残し、エッチング面に電極を形成し、その後エッチングの残りの部分を折り取ることにより、厚み方向にA励振電極2、B励振電極3と極性の異なった電極を形成して、目的を達成した。
請求項(抜粋):
エッチング法で外形を形成する水晶振動子の水晶板面の厚み方向のエッチング側面に、互いに極性の異なる電極が配置される水晶振動子の製造方法において、該水晶板の厚み方向にエッチングの残り部分を形成するエッチング工程と、該水晶板の側面部に側面電極を形成する工程と、該エッチングの残り部分を折って除去することにより、該水晶板の側面に極性の異なる電極を形成する工程とからなる水晶振動子の製造方法。
IPC (2件):
H03H 3/02 ,  H03H 9/19
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭61-013704
  • 特開昭58-157211
  • 特開昭61-189715

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