特許

J-GLOBAL ID：200903035378700861

リニアパルスモータ、ステージ装置及び露光装置

発明者： 内田 真司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-078259
公開番号（公開出願番号）：特開2002-281731
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】 2次側可動子を軽量にし、高加減速加速度、かつ高応答性のリニアパルスモータを提供する。【解決手段】 複数個の励磁ユニット3a〜3d及び該励磁ユニットに巻回した励磁コイル5a〜5dを列状に並設した1次側の固定子1と、該固定子1に対し一定の空隙を保って、該固定子1の側面にそれぞれ面して配置した2次側の可動子12とを備え、固定子1が可動子12の進行方向に沿って配置されており、固定子1と可動子12を該可動子12の進行方向に相対移動可能に支持し、可動子12に配置された複数個の極歯16を、非磁性連結部材17によって仕切ると共に一体に連結しており、可動子12の両側に固定子1を配置した両側式である。

請求項（抜粋）：

複数個の磁性部材及び該磁性部材に巻回した励磁コイルを列状に配置した1次側の固定子と、前記固定子に対し一定の空隙を保って、該固定子の側面にそれぞれ面して配置した2次側の可動子とを備え、前記固定子が前記可動子の進行方向に沿って配置されており、前記固定子と前記可動子を前記進行方向に相対移動可能に支持したリニアパルスモータにおいて、前記可動子に配置される複数個の極歯を、非磁性材料によって仕切ると共に一体に連結していることを特徴とするリニアパルスモータ。

IPC (4件)：

H02K 41/03 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H02K 41/02

FI (6件)：

H02K 41/03 B ,  G03F 7/20 521 ,  H02K 41/02 C ,  H02K 41/02 Z ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 503 B

Fターム (18件)：

5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC19 ,  5H641BB09 ,  5H641BB10 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641HH08 ,  5H641HH10 ,  5H641HH12 ,  5H641HH13 ,  5H641HH14 ,  5H641JA03 ,  5H641JA05 ,  5H641JA07 ,  5H641JA18 ,  5H641JA19