特許
J-GLOBAL ID：200903035382458196
静電容量型加速度センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113172
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300775
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 高い感度を有し、かつ、高い周波数応答性及び低ドリフトな静電容量型加速度センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 おもり部1aが可撓部1bにより支持部1cに支持されており、おもり部1aの上面及び下面をそれぞれ凹部3aを有して成る固定基板としての上部基板2a及び凹部3bを有して成る下部基板2bにより覆い、上部基板2a及び下部基板2bを支持部1cに接合する。そして、おもり部1aを挟んで成る支持部1cに直流電圧を印加して、それぞれ+Q,-Qの電荷を蓄積し、加速度が加わらない状態では支持部1cのおもり部1aに対向する面と、おもり部1aの支持部1cに対向する面とは完全に重なり合うように構成している。
請求項（抜粋）：
加速度により生じる力に応じて変位するおもり部が可撓部を介して支持部に支持されるとともに、該支持部は前記おもり部を挟み込むように配置され、前記支持部により平行電極を構成し、該おもり部の変位により前記平行電極との重なる面積が変化するように構成し、前記平行電極に電荷を蓄積させ、前記変化に応じて生じる前記平行電極間の静電容量の変化により前記おもり部の変位を検出するようにしたことを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
