特許
J-GLOBAL ID：200903035385552428
表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091225
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300709
出願日： 1993年04月19日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【構成】 一次元CCDカメラを用いた被検査物の表面欠陥検査装置において、前記被検査物の表面に対する一次元CCDカメラによる予め決定された走査基準時から最新走査時までの連続した所定の複数走査分の走査出力の各画素毎の移動平均値をデジタル的に演算し記憶する第1の記憶機構1と、第1の記憶機構1に記憶された出力信号を一次元CCDカメラによる次の1走査分の走査出力から減算する減算器2、一次元CCDカメラの各画素毎に定められたしきい値を記憶する第2の記憶機構3、減算器2の減算出力と第2の記憶機構3に記憶された出力とを比較する比較器4、各画素毎の継続的な移動平均演算処理を前記比較器の出力に基づいて制御する制御機構5とを設ける。【効果】 被検査物表面の幅方向において長手方向に連続的に存在する欠陥を、その中間部分の検出漏れを起こすことなく検出できる。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面に光を照射し、一次元CCDカメラにより前記被検査物表面からの反射光を走査し、前記被検査物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、(1)前記被検査物の表面に対する前記一次元CCDカメラによる予め決定された走査基準時から最新走査時までの連続した所定の複数走査分の走査出力の各画素毎の移動平均値をデジタル的に演算し記憶する第1の記憶機構と、(2)前記第1の記憶機構に記憶された前記走査出力を前記一次元CCDカメラによる次の1走査分の走査出力から減算する減算器と、(3)前記一次元CCDカメラの各画素毎に定められたしきい値を記憶する第2の記憶機構と、(4)前記減算器の減算出力と第2の記憶機構に記憶された出力とを比較する比較器と、(5)各画素毎の継続的な移動平均演算処理を前記比較器の出力に基づいて制御する制御機構とを設けたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06F 15/62 400
