特許

J-GLOBAL ID：200903035404297949

ホログラム干渉計装置

発明者： 大井 重徳
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150035
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026814
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 ホログラム光学素子を用いた干渉計において、このホログラム光学素子へのレーザ光束の入射角を小さくして、しかも光路にけられが生じないようにする。【構成】 レーザ光源31からコリメータレンズ36によって平行光束化されたレーザ光束をホログラム光学素子53に入射させる際に、第2の反射ミラー52に反射させた後に、このホログラム光学素子53に導くようにする。そして、第2の反射ミラー52は、ホログラム光学素子53からの回折光の集光位置と、この回折光の光路がホログラム光学素子53への入射光路及びその正反射光と交差する位置に配置し、この第2の反射ミラー52と回折光の光路を挟んだ反対側の位置に基準反射板54を配設している。

請求項（抜粋）：

レーザ光源からのレーザ光を平行光束化してホログラム光学素子に照射し、このホログラム光学素子からの回折反射光を被検物体に、また正反射光を基準反射板にそれぞれ反射させ、これらの間で干渉縞を発生させる干渉計装置において、前記回折光の集光位置と、この回折光の光路が前記ホログラム光学素子への入射光路及びその正反射光と交差する位置の間に、前記基準反射板と、ホログラム光学素子にレーザ光を導くための反射ミラーとをこの回折光の光路を挟むように配設する構成としたことを特徴とするホログラム干渉計装置。