X線螢光分析器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325757
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148222
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】 X線が照射された標本が発するX線螢光を効率良く検出する。【解決手段】螢光X線光子を捕捉しそれに対応して標本の分析に適した複数の電気パルスを生成する複数の半導体検出器18をスポット26のまわりに配置する。各々の検出器18からのパルスが別々の入力端で受理されるように複数のパルスを受理し分析する多重入力処理ユニット20も配置する。該ユニット20は、全ての検出器18に共通のエネルギー範囲内で光子に応答して全ての検出器18から受理されたパルスを用いて出力を生成する。

請求項（抜粋）：

標本を分析するためのX線螢光分析器であって、標本上の1スポットに入射し、そこから複数の螢光X線光子を作り出すX線ビームを生成するX線ビーム発生器、全ての検出器に共通のエネルギー範囲内の螢光X線光子を捕捉するべく該スポットのまわりに配列され、標本の分析に適した複数の電気パルスを生成するべくそれに対する応答性をもつ複数の半導体検出器、及び各々の検出器からのパルスが処理ユニットの別々の入力端で受理されるように複数のパルスを受理し分析し、全ての検出器に共通のエネルギー範囲内で光子に対する応答性をもつ全ての検出器から受理されたパルスを用いて出力を生成する多重入力処理ユニット、を含んで成るX線螢光分析器。

Fターム (15件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001JA04 , 2G001JA11 , 2G001KA01 , 2G001KA11 , 2G001PA11 , 2G001SA01 , 2G001SA02

引用特許：

審査官引用 (3件)

半導体検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-339175 出願人：株式会社テクノス研究所
特表平7-504491
特表平7-504491

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