特許

J-GLOBAL ID：200903035405379485

2次元放射線検出器

発明者： 田代 和昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-210068
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022835
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 高感度で高解像度、大面積で薄型の2次元放射線検出器を実現する。【解決手段】 センサモジュールは基板301、樹脂製ファイバープレート311、蛍光体310、光学的ファイバープレート308からなる。コア307は直径10μmで鉛酸化物が加えられ、屈折率、X線遮蔽効果が高い。308の厚さは5mm、310は100μmのピッチで、311は加工の歩留まりを考慮してもコストが抑えられる樹脂基板である。307と310の画素分割のピッチを変えることで、308がX線遮蔽材として最適に設計される。エッチング部分311の穴に、粒径が2μmのGd2 O2 S:Tlを屈折率が307の屈折率に近い樹脂のバインダーに混ぜ合わせた310を充填することで、310が十分に厚い状態で画素分割される。反射板312は310の表面にアルミ膜を蒸着したもので光閉じこめ用である。接着層305の屈折率はコア307の屈折率に近い。

請求項（抜粋）：

センサ基板と、前記センサ基板上に設けられた画素と、接着層を介して前記画素上に搭載された光学的ファイバープレートとを有するセンサモジュールを備えた2次元放射線検出器であって、前記光学的ファイバープレートは、コアとクラッドとからなる光学的ファイバーの集合体であり、前記コアは、クラッドに比べてエッチング速度の速い材料からなり、前記光学的ファイバープレートの放射線入射側端面に形成された窪みに、蛍光体層を有すること特徴とする2次元放射線検出器。

IPC (6件)：

G01T 1/20 ,  G02B 6/08 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/32

FI (8件)：

G01T 1/20 B ,  G01T 1/20 C ,  G01T 1/20 E ,  G02B 6/08 ,  H04N 5/32 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A ,  H01L 31/02 C

Fターム (43件)：

2G088EE02 ,  2G088FF02 ,  2G088GG15 ,  2G088GG19 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ29 ,  2G088JJ37 ,  2H046AA02 ,  2H046AB06 ,  2H046AD16 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118CB06 ,  4M118CB11 ,  4M118FA06 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118GA09 ,  4M118GA10 ,  4M118HA20 ,  4M118HA23 ,  5C024AX11 ,  5C024CX37 ,  5C024CX41 ,  5C024EX54 ,  5C024GX09 ,  5C024GY31 ,  5F088AA02 ,  5F088BA01 ,  5F088BA20 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088JA14 ,  5F088JA17 ,  5F088LA07 ,  5F088LA08