光ビーム形状測定器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087410
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280527
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】本発明は、被測定光ビームの形状や径を測定するものであり、従来のようにスリットをXステージ等で機械的に移動させずに、AO素子を用いて静止した状態で高精度に測定する光ビーム形状測定器を提供することを目的とする。【構成】上記目的を達成するために、本発明は、AOM24に光ビーム11を照射し、AOM24にはAOM駆動手段50からステップ状の超音波進行波40が与えられる。この超音波進行波40により光ビーム11はAOM24内で回折を生じ、この回折光41を受光素子13で受光し、その回折光41の強度を一定間隔時毎に計測し、その計測値を畳込み定理を用いて演算し、光ビーム11の形状の解を求めて表示する構成とする。

請求項（抜粋）：

被測定光ビーム(11)が照射されるAOM(24)と、上記AOM(24)にステップ状の超音波進行波(40)を入力するAOM駆動手段(50)と、上記AOM(24)からの被測定光ビーム(11)回折光(41)を受光する受光素子(13)と、上記受光素子(13)で受光した回折光(41)の強度を一定間隔時毎に計測する計測手段(51)と、上記計測手段(51)で計測した測定値を光ビーム(11)の形状に変換する演算手段(52)と、上記演算手段(52)で得られた光ビームの形状や径を表示する表示部(35)と、を具備することを特徴とする光ビーム形状測定器。

IPC (4件)：

G01B 11/08 , G01B 11/24 , G01J 1/02 , G01M 11/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-118529
特開昭62-197705
特開平4-118529

全件表示

前のページに戻る