特許
J-GLOBAL ID：200903035418381918
コンタクトプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-353702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180327
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 ウェハ等の電気的特性を測定する際に用いられてウェハ等の電極に接触されるプローブの冷却効果を高めてその過熱を防止し、過熱による測定不能等の不具合を未然に防止したコンタクトプローブを得る。【構成】 コンタクトプローブ1を支持体6とプローブ2とで構成しており、支持体6は厚板状に形成されたヒートシンク7と、このヒートシンクを挟むように両側に配置された絶縁板8A,8Bとで構成し、プローブ2は太径のチューブ3と、このチューブの両端から突出される細径のプランジャ4A,4Bとを有している。そして、チューブ3はヒートシンク7に開設された挿通孔7a,7b内に挿通され、かつその両端部において絶縁板8A,8B間に挟持され、またプランジャ4A,4Bは絶縁板8A,8Bに開設された貫通孔8aを通して先端部が突出される。プローブ2の熱はチューブ3からヒートシンク7に輻射され、ヒートシンクの大きな面積の表面から放熱される。
請求項（抜粋）：
厚板状に形成されたヒートシンクと、このヒートシンクを挟むように両側に配置された絶縁板とで構成される支持体と、この支持体に挿通状態に支持されたプローブとで構成され、前記プローブは太径のチューブと、このチューブの両端から突出される細径のプランジャとを有し、前記チューブは前記ヒートシンクに開設された挿通孔内に挿通され、かつその両端部において前記絶縁板間に挟持され、前記プランジャは前記絶縁板に開設された貫通孔を通して先端部が突出されることを特徴とするコンタクトプローブ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
