特許
J-GLOBAL ID：200903035421438467
形状測定方法及び形状測定器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203086
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044517
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 レーリーの限界よりも小さな構造物の寸法を精度良く測定できる形状測定方法と形状測定器。【解決手段】 レーザ光源1より発せられた光は、ガルバノミラー3で偏向された後対物レンズ6の射出瞳位置に集光し、標本O上に平行光となって入射する。ガルバノミラー3を振って照明光の標本Oへの入射角度を調節する。ガルバノミラー3の偏向角度情報より標本O上での照明光の入射角度を算出し、拡大像の特定部分の強度と共に記憶する。一通りガルバノミラー3の走査が終了した後、演算装置10は、記憶した照明光の入射角度と拡大像の特定部分の強度との相関を算出し、予め計算あるいは経験等により得られた標本形状とその相関との関係を用いて、標本形状を算出し、その結果をモニタ11に表示する。
請求項（抜粋）：
光源からの照明光の標本への入射角度が可変であり、前記標本の拡大像を撮像し、前記照明光の前記標本への入射角度と、前記拡大像における前記標本の形状より定まる所定の位置での像特性との相関を求め、前記相関より前記標本の形状に関連する情報を求めることを特徴とする形状測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/04
, G06T 1/00
G01B 11/24 K
, G01B 9/04
, G06F 15/62 380
