特許
J-GLOBAL ID：200903035426345793
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-351680
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166493
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 複数の識別コードを所定の位置に短時間で露光することができ、しかも装置全体がコンパクトな露光装置を提供することである。【解決手段】 感光材が塗布された基板50に基板識別コード50aやパネル識別コード51aを露光するための複数の露光ユニット9-1〜9-3をそれぞれ移動可能に配設せしめると共に基板周辺部を露光するための周辺露光ユニット24-1、24-2を移動可能に配設せしめた構成にしてある。
請求項（抜粋）：
感光材が塗布された基板上に識別コードを露光するための複数の露光ユニットをそれぞれ移動可能に配設せしめたことを特徴とする露光装置。
Fターム (7件)：
2H097AA04
, 2H097AA08
, 2H097BA10
, 2H097BB10
, 2H097CA03
, 2H097CA08
, 2H097LA12
