特許

J-GLOBAL ID：200903035429887899

液浸型露光装置

発明者： 宮崎 恭一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 丹羽 宏之 ,  野口 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-354931
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123305
出願日： 2003年10月15日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】 液浸型露光装置において、投影光学系最下部とウエハ間に整流板を用いて液体を流すことで温度分布を一定にし、屈折率分布を無くすことで露光性能の安定を得る。【解決手段】 投影光学系と、ウエハ、ウエハステージ、ウエハステージ台、整流板からなるウエハステージ部と、ポンプ、液体の調温槽、温度の制御部等からなる液の循環部において、ウエハステージ部に溜められた液体に流れを作り、整流板によって流れを整え、最終レンズ下の流速分布を一定に近づける事を特徴とする液浸露光装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

投影光学系と、ウエハ、ウエハステージ、ウエハステージ台、整流板からなるウエハステージ部と、ポンプ、液体の調温槽、温度の制御部等からなる液の循環部において、ウエハステージ部に溜められた液体に流れを作り、整流板によって流れを整え、最終レンズ下の流速分布を一定に近づける事を特徴とする液浸露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 516E

Fターム (9件)：

5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5F046DC10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン