特許
J-GLOBAL ID：200903035430306891
搬入搬出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140434
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335402
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 チャンバを連ねてラインを形成し高精度の雰囲気制御を必要とするクリーンチューブに物品の搬入搬出を行なう搬入搬出装置。【構成】 チャンバ1と搬送装置2を結合し、伝送手段50、55による雰囲気情報と、ホスト100の指令に基づき搬入出口20のドア40、41を開放しマニピュレータ90を用いて物品の搬入搬出を行なう。
請求項（抜粋）：
所定雰囲気条件に保持されたチャンバと、前記チャンバの内部の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段を有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、前記チャンバと前記搬送装置間で雰囲気データを伝送する伝送手段と、前記伝送手段からの雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記所定雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 21/00
, B65G 49/00
, B25J 13/00
