特許

J-GLOBAL ID：200903035434593160

広帯域反射防止膜

発明者： 岡田 憲明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028838
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227902
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 少ない積層数で広帯域で十分な反射防止効果を有する反射防止膜を提供する。【解決手段】少なくとも、屈折率が異なるフッ素樹脂からなる層を2層有する広帯域反射防止膜であって、該2層のうち相対的に屈折率の高いフッ素樹脂からなる層の上に、相対的に屈折率の低いフッ素樹脂からなる層を形成してなる広帯域反射防止膜。

請求項（抜粋）：

少なくとも、屈折率が異なるフッ素樹脂からなる層を2層有する広帯域反射防止膜であって、該2層のうち相対的に屈折率の高いフッ素樹脂からなる層の上に、相対的に屈折率の低いフッ素樹脂からなる層を形成してなる広帯域反射防止膜。

IPC (3件)：

G02B 1/11 ,  B05D 5/06 ,  C08F 14/18

FI (3件)：

G02B 1/10 A ,  B05D 5/06 D ,  C08F 14/18