特許
J-GLOBAL ID:200903035434794424

微分干渉光学系

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠原 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-371496
公開番号(公開出願番号):特開2001-242382
出願日: 2000年12月01日
公開日(公表日): 2001年09月07日
要約:
【要約】【課題】 少ない種類のウォラストンプリズムまたはノマルスキープリズムを用いて異なった後側焦点位置の各種対物レンズに対応可能であり、これらのプリズムから干渉縞の局在位置までの距離が可変な微分干渉光学系を提供する。【解決手段】 照明光源1と、照明光源1からの光線を直線偏光に変換する偏光子2と、その直線偏光を振動方向が互いに直交する2つの直線偏光に分離するウォラストンプリズム3と、被観察物体5を照明し観察するレンズ系4,11と、該レンズ系通過後の前記2つの直線偏光を合成するノマルスキープリズム12と、合成された光線を直線偏光にする検光子8を備えている。ノマルスキープリズム12には、分離された2つの前記2つの直線偏光が交差する干渉縞の局在位置があり、その局在位置までの距離が変えられ得るように構成されている。
請求項(抜粋):
照明光源と、該照明光源からの光線を直線偏光に変換する第1の偏光素子と、該第1の偏光素子により変換された直線偏光を振動方向が互いに直交し僅かな分離角をもって進行する2つの直線偏光に分離する第1の偏光部材と、被観察物体を照明し観察するためのレンズ系と、該レンズ系通過後の前記2つの直線偏光を同一光路上に合成する第2の偏光部材と、該第2の偏光部材により合成された光線を直線偏光に変換する第2の偏光素子を有する微分干渉光学系であって、前記第1の偏光部材と第2の偏光部材の少なくとも一方の偏光部材は前記2つの直線偏光が交差する干渉縞の局在位置を有し、該偏光部材から干渉縞の局在位置までの距離が変化可能な微分干渉光学系。
Fターム (4件):
2H052AA05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC27

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