特許

J-GLOBAL ID：200903035441346321

電子源及び電子線装置

発明者： 川浪 義実 ,  大嶋 卓 ,  細木 茂行 ,  早田 康成
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142887
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339773
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】 エネルギー分散の小さい電子線を長時間安定に放射することが可能な電子源並びにこれを搭載した電子線装置を提供すること。【構成】針状電極1の尖端に、ギャップ電源5により針状電極1に対して正の電位を与えた薄膜電極2をギャップ駆動機構3により近付けることにより、針状電極1内部の電子(伝導電子)が薄膜電極2へトンネリングさせ、かつこの電子のうちの特定のエネルギーを持つ電子4を薄膜電極2から真空中に放射させる。【効果】 針状電極と薄膜電極との間に数ボルトの電位差を印加するだけで針状電極からの電子放出をイオン衝撃の影響を受けずに行え、且つ放出された電子を薄膜電極にトンネリングさせることで所望のエネルギーを有する電子のみで電子線を形成できる。

請求項（抜粋）：

第1の導電性部材と、該第1の導電性部材から電子がトンネル効果により入射するように第1の導電性部材に対して配置された第2の導電性部材と、該第1の導電性部材と該第2の導電性部材との間に電界を発生させる電界発生手段と、該第1の導電性部材と該第2の導電性部材との配置を調整する位置調整手段からなることを特徴とする電子源。