特許
J-GLOBAL ID:200903035444728055

圧電型振動センサ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-010704
公開番号(公開出願番号):特開平7-218332
出願日: 1994年02月01日
公開日(公表日): 1995年08月18日
要約:
【要約】【目的】 広範囲の周波数の測定が可能で、温度特性に優れ、かつ防水性が付与された圧電型振動センサ装置を提供する。【構成】 圧電体43の両面に電極が固定され、さらにその両側に支持体44が固定された検知部45に荷重体46が取り付けられてなる圧電型振動センサ35と、信号処理回路基板36とがパッケージ33内に収容されてなる圧電型振動センサ装置30において、前記パッケージ33を圧電型振動センサ35を収容する凹部34が形成された導電性物質からなる収容体31と、前記凹部34の開口部を覆う導電性物質からなる収納覆体32とから構成する。ついで、前記圧電型振動センサ35の荷重体46を収納体31の凹部34の開口部に向けて、前記収納体31の底部に接合する。さらに前記信号処理回路基板36を前記収納体31の開口部の周縁部37に掛け渡し、これを収納覆体32で覆い、さらに、収納覆体32と収納体31とを一体化することを特徴とする。
請求項(抜粋):
圧電体の両面に設けられた接着層を介して電極が固定され、さらにその両側に支持体が固定された検知部に、荷重体が取り付けられてなる圧電型振動センサと、信号処理回路基板とがパッケージ内に収容されてなる圧電型振動センサ装置において、前記パッケージは、前記圧電型振動センサを収容する凹部が形成された収納体と、この収納体を覆う収納覆体とからなり、前記収納体および収納覆体は導電性物質からなり、前記収納体は、熱伝導率が0.4cal/cm/s/K以下、および肉厚が1mm以上であり、前記圧電型振動センサは、その荷重体が前記収納体の凹部の開口部に向くように、収納体の底部に接着層を介して接合され、前記信号処理回路基板は、前記収納体の開口部の周縁部で支持され、かつ、前記信号処理回路基板を覆うように収納覆体と収納体とが一体化されてなることを特徴とする圧電型振動センサ装置。
IPC (2件):
G01H 11/08 ,  G01P 15/09

前のページに戻る