特許

J-GLOBAL ID：200903035447994899

走査型近接場顕微鏡

発明者： 内川 清
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095911
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264905
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】 走査型近接場顕微鏡におけるプローブの再現性および生産性を高め、鮮明かつ高解像度の観察画像を安定して得る。【構成】 試料面に対向して微小開口部を有し、前記試料に対し相対的に走査可能なプローブを備えた近接場走査型顕微鏡であって、前記プローブの微小開口部が試料への照明光などの波長より充分狭い線幅を有する直線形状であるか、または前記波長より充分小さな径を有するほぼ直線状に配列され複数の微小開口、または直線状の開口と微小開口の複合した開口によって構成される。このような微小開口部はいわゆるリフトオフ法もしくは、電子ビーム露光法によって再現性よく制作できる。

請求項（抜粋）：

試料面に対向して微小開口部を有し、前記試料に対し相対的に走査可能なプローブを備えた近接場走査型顕微鏡であって、前記プローブの微小開口部が試料への照明光または照明光より誘起される散乱光または発光の波長より充分狭い線幅を有するほぼ直線形状であるかまたは前記波長より充分小さな径を有するほぼ直線状に配列された複数の微小開口、または直線状の開口と微小開口の複合した開口によって構成されることを特徴とする走査型近接場顕微鏡。