特許
J-GLOBAL ID：200903035460744230
干渉計および干渉計測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-276965
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118452
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 干渉計の精度測定光束の光路中に存在するゆらぎによらず、安定した面測定精度を得る。【解決手段】 光源10から出射する波長λa、λbの光はダイクロイックミラー12で分離され、それぞれビームエキスパンダ16A、16Bより波長λa、λb平面波として出射される。この波長λa、λbの平面波は、被検面34tに導かれる。フィゾー面32fで反射された波長λa、λbの平面波(参照光束)と、被検面34tで反射された波長λa、λbの測定光束とは合流して波長λa、λbの干渉光を生じる。波長λa、λbの干渉光は、ダイクロイックミラー22Aで分光され、λaの干渉光は光電変換装置42Aに、λbの干渉光は光電変換装置42Bに導かれる。コンピュータ50は、光電変換装置42A、42Bからの画像信号に基づき、フィゾー面32fと被検面34tとの間に存在する空気ゆらぎの影響による誤差を除去し、被検面34tの面精度を求める。
請求項（抜粋）：
第1の波長を有する光により形成される第1の精度測定光束と、前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する光により形成される第2の精度測定光束とにより、同一の被検面の面精度を相異なる波長を有する光の光波干渉によって測定する多波長面精度測定手段と、前記第1および第2の精度測定光束が共に通過する共通光路の横断方向に、屈折率の異なる空気が分布することに起因する測定誤差を、前記第1および第2の精度測定光束で得られた前記面精度の測定値に基づいて除去して、前記被検面の面精度を求める処理手段とを有することを特徴とする干渉計。
IPC (2件)：
G01B 11/30 101
, G01B 9/02
G01B 11/30 101 A
, G01B 9/02
