特許
J-GLOBAL ID：200903035464447362
めっき装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194919
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024307
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 溶解性の陽極電極を用いためっき装置であっても、ブラックフィルム等に起因するパーティクルによるめっき品質の低下を防止できるめっき装置を提供する。【解決手段】 めっき槽10内に陽極電極30を配設し、めっき液噴射管35からめっき槽10内にめっき液を流入することで被めっき基板Wの被めっき面にめっき液の噴流を当接しながら陽極電極30と被めっき基板W間に通電することでめっきを行う。めっき槽10に流入しためっき液の一部を、陽極電極30の周囲(又は陽極電極30に設けた貫通孔)からめっき槽10外部に流出せしめる流出口11を設ける。
請求項（抜粋）：
めっき槽内に陽極電極を配設し、めっき槽内にめっき液を流入することで被めっき基板の被めっき面にめっき液の噴流を当接しながら前記陽極電極と被めっき基板間に通電することでめっきを行うめっき装置において、前記めっき槽に流入しためっき液の一部を、陽極電極に設けた貫通孔又は陽極電極の周囲からめっき槽外部に流出せしめる流出口を設けたことを特徴とするめっき装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
4K024AA09
, 4K024AB01
, 4K024AB15
, 4K024BA11
, 4K024BB12
, 4K024BC10
, 4K024CA15
, 4K024CB02
, 4K024CB08
, 4K024CB09
, 4K024CB13
, 4K024CB14
, 4K024CB15
, 4K024CB18
, 4K024GA16
, 5E343BB24
, 5E343DD43
, 5E343FF16
, 5E343FF17
, 5E343GG06
, 5E343GG20
審査官引用 (3件)
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特公昭61-041159
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特許第2908790号
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特開平3-288439
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