基板露光装置の露光ステージ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-115474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289350
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】正確な位置決めを行える基板露光装置の露光ステージを提供する。【構成】露光ステージSは複数のブロック台1に分割され、剛性を高められており、その上面の平坦度が向上している。各ブロック台1の間の隙間には搬送用ベルト3とX方向位置決め片4が設けられ、露光ステージS上で基板Wの位置決めが行える。

請求項（抜粋）：

少なくともその一部が所定の隙間を開けて設置された被露光基板を載置するための複数のブロック台と、該隙間に設けられた基板を移動させるための移動手段と、を備えたことを特徴とする基板露光装置の露光ステージ。

IPC (4件)：

G03F 7/20 , G03B 27/32 , G03F 9/00 , H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-212659
特開昭60-250689
特開昭58-007638

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