特許

J-GLOBAL ID：200903035475768942

マイクロメカニカルセンサ

発明者： ムーア,デービッド・フランク ,  ホール,アンドリュー・チャールズ・フレデリック ,  ヒーヴァー,アラン
出願人/特許権者： ブリティッシュ・テクノロジー・グループ・リミテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-516352
公開番号（公開出願番号）：特表平8-504266
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】マイクロメルセンサは、それぞれの支持領域(12a-12d)にて支持された複数の検出要素(14a-14d)を備えている。第一の組の検出要素が検出空隙を形成する。一つの構成において、これは、隣接する支持領域により支持された検出要素により形成される。別の実施例において、検出空隙は、1つの検出要素と、真向いに配置された2つの検出要素の戻り脚部を接続することで形成された基準ビームとの間に形成される。これらの検出要素は、互いに関して略類似しており、その各々の要素が、関係する支持領域から離れる方向に伸長する外方への細長い脚部と、支持領域に向けて伸長する、外方への脚部に対して略平行な戻り脚部とを備えている。略同様の形状であり且つこのように配置された検出要素を提供することにより、薄膜応力の作用は、最小となる。

請求項（抜粋）：

それぞれの支持領域にて基板上に支持された複数の検出要素と、それぞれの検出部分を有し且つ検出空隙を形成し得るように配置された前記検出要素の第一の組みと、相手方となる組みを形成する前記検出要素の第二の組みと、を備え、前記検出要素が、互いに関して略同様であり、検出要素の各々が、その関係する支持領域から離れる方向に伸長する外方への細長い脚部と、支持領域に向けて伸長する、外方への細長い脚部に対して略平行な戻り脚部と、を備えることを特徴とするマイクロメカニカルセンサ。

IPC (5件)：

G01N 27/12 ,  G01N 19/00 ,  G01N 27/22 ,  G01N 37/00 ,  H01L 29/84